掃描電鏡(SEM)全稱掃描電子顯微鏡,它是利用掃描電子顯微鏡(SEM)對樣品進行微觀形貌、成分和結構信息的檢測和分析。SEM通過高能電子束掃描樣品表面,收集并放大電子與樣品相互作用產生的各種信號,從而生成高分辨率的圖像,并可以進行成分分析?。
掃描電鏡檢測方法及標準解讀
掃描電鏡檢測方法
?(1)納米材料?:SEM可用于觀察納米材料的結構、顆粒尺寸、分布、均勻度及團聚情況,結合能譜還可以對納米材料的微區成分進行分析,確定材料的組成?。
??(2)高分子材料?:SEM可以揭示高分子材料的表面形態和內部結構,觀察高分子材料的老化、疲勞、拉伸及扭轉過程中的斷口斷裂與擴散情況?。
?(3)?金屬材料?:SEM可以分析金屬材料的微觀組織、斷裂模式和表面磨損、腐蝕和形變情況;還可以分析鋼鐵產品的質量和缺陷(如氣泡、顯微裂紋、顯微縮孔等);結合能譜可確定金屬與合金各元素的偏析情況,觀察物相并進行成分識別?。
?(4)?陶瓷材料?:SEM可用于觀察陶瓷材料的顯微結構和孔隙分布,分析陶瓷材料的原料、成品的顯微結構及缺陷,包括晶相、晶體大小、雜質、氣孔等?
掃描電鏡檢測標準
GB/T16594-2008 微米級長度的掃描電鏡測量方法通則
GB/T17362-2008 黃金制品的掃描電鏡X射線能譜分析方法
GB/T17722-1999 金覆蓋層厚度的掃描電鏡測量方法
GB/T20307-2006 納米級長度的掃描電鏡測量方法通則
GB/T25189-2010 微束分析掃描電鏡能譜儀定量分析參數的測定方法
GB/T27788-2020 微束分析掃描電鏡圖像放大倍率校準導則
GB/T30834-2022 鋼中非金屬夾雜物的評定和統計掃描電鏡法
GB/T31563-2015 金屬覆蓋層厚度測量掃描電鏡法
GB/T35097-2018 微束分析掃描電鏡-能譜法環境空氣中石棉等無機纖維狀顆粒計數濃度的測定
GB/T35099-2018 微束分析掃描電鏡-能譜法大氣細粒子單顆粒形貌與元素分析
掃描電鏡檢測方法及標準解讀